该设备具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理

配备X射线能谱仪，可做元素分析，具有形貌、化学组分综合分析能力

•金属、无机非金属、高分子材料及生物样品等的表面显微结构和形貌分析  

•微区元素定量及半定量分析  

•放大倍数X10~X100，000倍  

•分辨率4nm