等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪，通过真空状态下的放电作用，使气体得到足够的能量成为等离子状态，依靠等离子体中活性粒子的”活化作用”，达到去除物体表面污渍或对物体进行表面处理的目的。

　　等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。